Vollautomatische Tests kritischer MEMS-Parameter auf Wafer-Level

(pressebox) Waldbronn, 11.09.2014 - Bei vielen MEMS lassen sich kritische Geometrie- und Materialparameter, die zerstörungsfrei nicht direkt messbar sind, aus den Ergebnissen einer Schwingungsmessung ableiten. Beispiele sind die Membran-Dickenbestimmung bei MEMS Drucksensoren oder die Messung der ...