
Genau dieses Machtgefüge könnte nun Risse bekommen. Chinesischen Forschern ist offenbar ein technologischer Durchbruch gelungen, der das bislang größte Hindernis auf dem Weg zu eigenständiger High-End-Chipproduktion adressiert: die Erzeugung des extremen ultravioletten Lichts, das für EUV-Prozesse
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