Active Shims für Nanometerauflösung und Langzeitstabilität: Justage mit piezobasierten "Unterlegscheiben"

Karlsruhe, 18.04.2018 (PresseBox) - Ändert sich innerhalb von Präzisionsmaschinen z. B. für die Halbleiterfertigung, Metrologie Anwendungen oder Inspektionssysteme ein Soll- oder Ist-Maß zwischen zwei Komponenten, kann es erforderlich sein, dieses nachzujustieren. Das ist z. B. dann der Fall, wenn ...