Innovatives Maskensystem für die Halbleiter-Lithographie

Dresden, 22.11.2017 (PresseBox) - Steinmeyer Mechatronik, der Spezialist für Positioniersysteme aus Dresden, hat ein innovatives Maskensystem für die UV-Lithographie in der Halbleitertechnik entwickelt. Die XY-Theta-Verstellung mit Parallelkinematik zeichnet sich durch eine hervorragende ...