Prozesse und technologische Herausforderungen bei Niederdruck MEMS Sensoren ­ ­ ­

Zürich, 11.12.2024 (PresseBox) - Mikro-elektromechanische Systeme (MEMS), sind sehr verbreitet in der Sensorik. Auf Basis von Halbleiter Fertigungsprozessen ermöglichen diese die Miniaturisierung und skalierte Produktion von Sensoren verschiedener Messprinzipien und so den Einsatz in vielen ...